超精密加工的空气净化等级必须达到100~10000级。 清洁是最常见的空气净化方式，净化后的加工车间称为洁净室、超洁净室。 一般而言，净化主要有两种类型，一种是整体净化，一种是局部净化。 局部净化具有经济性，通过使正压的清洁空气流入工作台等局部加工区域，防止外部空气流入，实现净化。 由于工作人员的头发、工作服等可能带来灰尘，在进入工作前，工作人员必须清理室外更换特制衣物，被风淋湿，有效避免灰尘对加工质量的影响。

加工机理的影响分析是近年来新技术、新设备不断涌现，精密加工也应不断加大研究力度，探索新的加工方式。 从传统加工方面来说，金刚石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨带磨削、磨料加工等已经取得了很好的效果； 从非传统加工方面来说，激光束、电子束及离子束等多种高能束精密加工、超声波加工、电火花加工及电化学加工等具有明显优势，特别是组合加工方式的应用，如超声波珩磨、电解研磨等技术其突破性发展的意义在于，主要表现在去除加工的明确提出，加工与变形加工的有效融合，特别是叠加加工快速成形的优势，对加工技术的发展具有十分重要的促进作用。